天天躁久久躁77777_四虎8848免费高清在线观看_男插入女_小优为爱而生免费版_暴草美女_久久精品国产精品毛片

13505894295

聯(lián)系人:黃先生

详细内容

半導(dǎo)體行業(yè)

一、行業(yè)概述:

半導(dǎo)體行業(yè)主要分為集成電路、光伏和半導(dǎo)體LED等。

二、廢氣分類:

在半導(dǎo)體制造廠,依照系統(tǒng)廢氣排放可分為:一般排氣(GEX)、酸性排氣 (SEX)、堿性排氣 (AEX)和有機排氣 (VEX)

三、廢氣處理方案:

1、一般排氣系統(tǒng):

一般排氣 (GEX)系統(tǒng)也稱為熱排氣系統(tǒng) ,生產(chǎn)過程中一些設(shè)備局部會產(chǎn)生大量的熱或產(chǎn)生會對高潔凈度生產(chǎn)環(huán)境造成影響的含塵無害氣體。為了滿足半導(dǎo)體制程對環(huán)境溫濕度((22±1)℃,(45±5)%)和潔凈度的極高要求 ,可將此種廢氣通過風(fēng)管系統(tǒng)進行收集,然后以風(fēng)機抽取并排放。雖然一般排氣用于抽取設(shè)備的含塵排放,但由于一般排氣系統(tǒng)抽取的氣體直接來自潔凈室內(nèi),且設(shè)備含塵排放濃度很低,因此在總風(fēng)管處檢測的結(jié)果仍為潔凈級別,屬于室溫范圍。因此 GEX可以直接排放至大氣環(huán)境 ,不需做任何處理 ,為無害排放。

2、酸堿廢氣處理系統(tǒng):

半導(dǎo)體制造中產(chǎn)生的酸性和堿性廢氣采用分別收集、分別處理的方法,處理設(shè)備和處理原理基本相同。對于含有 酸性/堿性物質(zhì)的廢氣 ,大都采用大型洗滌式中央廢氣處理系統(tǒng)進行處理。由于半導(dǎo)體制造工作區(qū)域離中央廢氣處理系統(tǒng)距離較遠 ,因此部分酸性/堿性廢氣在輸送至中央廢氣處理系統(tǒng)前,常因氣體特性導(dǎo)致在管路中結(jié)晶或粉塵堆積,造成管路堵塞后導(dǎo)致氣體外泄,嚴重者甚至引發(fā)爆炸,危害現(xiàn)場工作人員的工作安全。因此在工作區(qū)域需配置適合制程氣體特性的就地廢氣處理設(shè)備進行就地處理 ,之后再排入中央處理系統(tǒng),而一些特殊的廢氣,包括劇毒、自燃、易爆等廢氣則需要先通過干式洗滌塔等設(shè)備通過吸附或氧化/燃燒等方法就地處理,之后再排人中央廢氣處理系統(tǒng) 。

3、有機廢氣處理系統(tǒng):

半導(dǎo)體制造過程中排放的含有有機成分的廢氣通常采用直接焚燒、活性炭吸附、生物氧化等方法進行處理。只有較高濃度的有機廢氣才建議直接焚燒;活性碳吸附的方法,只有極低濃度的有機廢氣才建議使用。但由于其材料特性,存在易燃燒、水分敏感度高、脫附后殘留負荷高等缺點,中高濃度基本不再使用;半導(dǎo)體制造的有機廢氣排放特點是濃度較低,但排風(fēng)量較大,因此必須考慮將有機廢氣濃縮后再進行焚燒處理。沸石濃縮轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)和焚化爐焚化系統(tǒng)的組合可以很好地解決這一問題。


05-半導(dǎo)體行業(yè).jpg


seo seo
主站蜘蛛池模板: 久久欧美精品久久天美腿丝袜 | 人妻丰满熟妇无码区免费 | a黄色毛片 | 麻豆精品偷拍人妻在线网址 | 国产日韩欧美综合 | 亚洲2022国产成人精品无码区 | 欧美精品一区二区免费视频 | 黄色污污视频网站在线观看 | 黄色的视频在线观看 | 欧美日本二区 | 超碰人人草人人 | 一级黄色片国产 | 影音先锋资源爱色 | 国产亚洲3P无码一区二区 | 99re6热在线精品视频 | 上司部长出轨漂亮人妻 | 五月天婷婷亚洲 | 丝袜脚交国产在线观看 | 国产性生活一级片 | 丝袜捆绑调教美女 | 欧美另类激情 | 人人看人人搞 | 最新日韩精品中文字幕 | 粗一硬一长一进一爽一a片 欧美人与牲禽动a交精品 | 中文在线视频 | 影音先锋在线观看中文字幕 | 亚洲女人天堂色在线7777 | 国产 麻豆 日韩 欧美 久久 | 班花在教室伦流澡到高潮视频 | 好吊视频一区二区 | 一本一本久久a久久精品综合妖精 | 国产成人三级在线播放 | 99久久精品国语对白 | 米奇影视77777 | 斯巴达300勇士在线观看 | 一级激情片 | 姑娘5集免费播放 | 久久精品7 | 国产成人亚洲欧 | 姑娘第8集免费观看视频 | 疯狂揉小核到失禁喷水h视频 |